196 1 년, 산디아 국립연구소 선임 연구원인 윌리스 화이트필드는 당시 층류라고 불렸던 깨끗한 공기 흐름 조직 방안을 제시했는데, 지금은 단방향 흐름이라고 불리며 실제 공사에 적용되었다. 그 이후로, 청정실은 전례 없는 높은 청결도에 도달했다.
같은 해 미 공군은 세계 최초의 청정실 표준인 to-00-25-203 공군 지침인' 청정실과 청결작업대의 설계 및 운영 특성 기준' 을 제정하고 발표했다. 이를 바탕으로 1963 65438+ 2 월 클린 룸이 3 단계로 나뉘었다고 발표했습니다.
미국 연방 표준 미국 연방 준비 제도 이사회-표준 -209. 이 시점에서 클린 룸 기술의 완벽한 프로토 타입이 형성되었습니다. 이 세 가지 주요 진전은 일반적으로 현대 청정실 발전사의 세 가지 이정표로 불린다.
1960 년대 중반에 청정실은 우후죽순처럼 미국의 각 공업 부문에 나타났다. 군사공업뿐만 아니라 전자 광학 마이크로 베어링 마이크로 모터 감광필름 초순수 화학 시약 등 산업부문에서도 보급돼 당시 중요한 과학적 의의를 가지고 있다.
기술과 공업 발전이 큰 추진 작용을 하였다.
70 년대 초 청정실 건설의 중점은 의료 제약 식품 생화학 산업으로 옮겨지기 시작했다. 미국을 제외한 일본, 독일, 영국, 프랑스, 스위스, 구소련, 네덜란드 등 다른 산업 선진국. , 또한 청정 기술을 매우 중시하고 적극적으로 발전시킨다.
1960 년대 초는 우리나라의 청결기술 발전의 시작 단계로서 대략 외국보다 10 년 늦다. 중국에서, 이것은 매우 특별하고 어려운 시기이다. 한편, 방금 3 년 동안 자연재해를 겪었는데, 경제 기초가 약하다. 반면에, 그것은 세계 선진 과학기술 국가와 직접 연결되어 있지 않아 필요한 과학기술 데이터, 정보, 샘플을 얻을 수 없다. 이렇게 어려운 조건에서 정밀 기계, 항공기기, 전자업계의 수요를 둘러싸고 중국의 청결기술자가 창업 여정을 시작했다.
중국의 청정 기술 개발은 다음 단계로 나뉩니다.
시작 및 기본 단계
1960 년대 초부터 70 년대 말까지 이 10 년은 중국 청결기술의 시작과 기초 단계였다.
1965 년 중국 건축과학연구원 에어컨 연구소와 방부 보온재 공장에서 공동으로 개발한 파문 칸막이 고효율 공기 필터가 검증을 통해 중국 청결기술이 본격적으로 시작되었음을 알렸다. 당시 사용한 여과지는 두 가지가 있었는데, 하나는 청석이었다.
GS 시리즈 고효율 공기 필터의 면섬유 필터지는 생산공예가 인체 건강에 좋지 않아 곧 도태되었다. 다른 하나는 GB 시리즈 고효율 공기 필터, 초극세유리섬유 필터지로 지금까지 계속 사용되고 있습니다. 국내에서 여러 차례 해외 동종 제품과 비교 테스트를 했고, 미국의 미니도 마찬가지다
소대 에어러졸 연구소의 중국 HEPA 여과지 검사 결과 국산 HEPA 여과지의 주요 기술 지표가 같은 기간 국제수준에 이르렀다는 사실이 드러났다.
흥미롭게도 일본은 1950 년대 말부터 미국과 협력해 일본에서 HEPA 필터를 만들기 시작했지만 청결 기술은 일찍 시작되었지만 기술과 필터지는 미국에서 왔고 일본의 HEPA 필터는 1969 까지 완전히 국유화되지 않았다.
한편 1963 은 필터 소재 나트륨 불꽃 시험대를 성공적으로 개발했고 1964 는 고효율 필터 나트륨 불꽃 시험대를 구축했다. 이때 고효율 공기 필터의 정상적인 생산과 품질이 향상되었다. 중국 의학과학원 보건소 칭화대 원자력연구소 등이 이를 위해 노력했다.
HEPA 필터를 청결 기술의' 심장' 에 비유하면 감지 기술과 기기는 청결 기술의 눈이며 식별 및 검사에 사용할 수 있다. 1960 년대 중반, 중국 의학과학원 건강연구소, 하얼빈 건축공학대학,
중국과학원 단동기기연구소, 안후이광기소, 에어컨소 등은 광산산입자카운터를 개발해 투자했다. 1973 년 연구원은 3 년 만에 국내 최초의 J-73 먼지 입자 카운터와 입자 카운터를 보정하는 데 사용되는 단 분산 폴리스티렌 라텍스 표준 입자 (PSL) 를 개발했다. 평균 입자 크기 범위는 0. 177 ~ 1.460 μm 이며 표준 편차는 작습니다. 5% 입니다. J-73 * * * 측정 범위 0.3~ 10μm, 샘플링 흐름 300ml/min 을 측정하는 15 세분성 파일이 있습니다. 이 두 가지 성과는 1974 년 국가인증을 통과해 당시 세계 수준에 도달하거나 근접한 것으로 간주되었다. 먼지 입자 카운터의 보급 응용은 우리나라 청결기술의 과학 연구, 설계 및 정화 설비 생산을 촉진하여 자력갱생, 자강불식의 길을 따라 전진하였다.
이와 함께 전자기술, 정밀 기계, 국방공업과 관련된 설계원도 청정실의 엔지니어링 설계를 탐구하고 연구하고 있다. 1965 년에 건설된 심양 1 19 공장과 석가장 13 공장은 제 3 기계부 제 4 연구소 (현항공공업부 제 4 설계원) 와 제 4 기계부 2
1966 년, 중과원 설계원은 국산 GB 시리즈 고효율 공기 필터 디자인 중과원 정밀 기계 조립 공장, 면적 760 평방미터, 1970 년 생산에 들어갔다. 정적 조건에서 실내 환기가 20AC/h 일 때 실내 청결도가 당시 미국 연방 표준인 209A 의 10000 수준에 달하는 것으로 측정되었습니다.
1973 년 초 기계 4 부 10 번째 설계원 및 11 번째 설계원은 각각 878 공장과 4433 공장의 청결공장을 설계하기 시작했다. 두 공장의 청정실에는 Fed-STD-209a 의 100,000 에서100 까지의 공기 흐름이 포함되어 있습니다.
수직 단방향 흐름, 수평 단방향 흐름 및 난류가 있습니다.
이 기간 동안 청정실과 배합된 정화 설비는 이미 시험 제작에 성공했고, 과거에는 무선전신과 반도체 전용 설비, 의료기기를 생산정화 설비로 전환해 우리나라 청정실 설비의 초보적인 생산 규모와 배치를 형성했다. 이 공장들은 주로 베이징, 천진, 쑤저우, 상해, 충칭에 분포한다. 각종 청결작업대를 설계하고 제조하는 것부터 시작하여 샤워실, 에어락실, 자재 수송창, 여압 밸브 등 관련 설비를 설계하고 제조했다.
1960 년대 말 70 년대 초 일부 과학연구기관들의 소형 청결 작업 환경에 대한 요구와 일부 오래된 공장 소형 청정실 개조의 필요성을 충족시키기 위해 제 6 기계부 제 9 연구소 (현 선박중공업그룹 회사 9 설계원) 에어컨 시설을 설립했다.
3 기부, 사원, 천진시 의료설비공장, 천진시 의료정화설비공장 전신) 등의 단위는 성공적으로 조립된 수직단향류, 수평단향류 청정실을 개발했다. 정화 설비 공장에서 생산한 이런 조립식 청정실은 원래 건물에 대한 기술 개조를 전문으로 한다.
필요한 정화 면적이 비교적 작을 때, 설계 시공 속도가 빠르고 기술 성능이 안정적이며 1974 에서 천진에서 국가 검증을 통과했다.
1974 부터 연구소 에어컨, 기계 4 부 10 곳 등 부대는 각각 청결기술 실험실을 설립하여 기초연구를 진행했다. 예를 들어, 연구실의 터런스 청정실의 균일 분포와 불균일 분포를 계산한다.
천장 양쪽에서 공기를 공급하는 환기 청정실의 기류 특성 연구 등. 기계 4 부 제 10 설계연구원은 터런스 청정실의 실험 연구, 고효율 필터 배출구 공기 흐름 조직 연구, 인체 먼지 연구를 실시했다.
연구 등 많은 과제를 재다.
동시에, 기계 7 원 (우주공업 7 원), 연구원 에어컨소, 기계 10 원, 11 원, 기계 2 원 (핵공업 2 원), 기계 9 원 등과 같은 일부 과학연구소와 설계원. 천진대, 동제대, 허베이 이공대 등 고교와 청정실 기술연구협력팀을 구성해 국가 대규모 집적 회로 연구에 협조했다. 베이징, Xi, 상하이 등에서 각기 다른 환경에서 실외 대기 먼지 농도에 대한 장기 모니터링 및 통계 분석을 실시하고, 전국 각지에서 이미 건설된 청정실을 검사하고 있습니다. 청정실 설계, 건설, 운영 및 설비 생산 경험을 총결하다.
같은 기간 외국 청정 기술 개발 개요는 다음과 같습니다.
60 년대 중반, 미국 전자와 정밀 기계 공장의 청정실이 우후죽순처럼 생겨나 당시 과학기술과 공업의 발전을 크게 촉진하면서 동시에 산업 청정실 기술 (ICR) 이식을 시작했다.
BCR 여행-생물학적 청정실). 70 년대 초 청정실 건설 열풍이 의료 제약 식품 생화학 산업으로 바뀌었다.
1966 년 세계 최초의 수직단방향 유동인 BCOR (생물청결수술실) 이 미국 뉴멕시코 주에 건설되었다. 같은 해 AACC (미국오염통제협회, 인토 환경과학기술연구소에 통합) 는' 층류 수술실 설계 및 건설',' 층류 청결공기 외과에서의 응용' 등 지도문서를 발표했다.
같은 해 세계 최초의 층류 무균실이 미네소타 대학에 건설되었다. 1967 년, 세계 최초의 생물청결백혈병실은 미국 텍사스 주 M.D. Anderson 병원에 건설되었다.
영국에서는 유명한 성형외과 의사 D.J.Charnley 도 1966 에 clean house 라는 생물청결 수술실을 지었다. 유럽 최초의 층류 병실은 65438-0969 년에 오스트리아 리즈에 건설되었다.
이후 스위스와 독일은 의료용 바이오 청정실을 잇따라 건설했다.
일본에서는 발전이 더 빠르다. 1965, 일본 국립공중보건센터는 무균동물 (SPF) 을 먹이기 위한 고효율 필터가 장착된 BCR (생물청정실) 을 건설했다. 1970 년 아이치 노동자 병원에 조립식 수직층류 백혈병실을 지었다.
1972 년 국립오사카 병원 수직층류 무균수술실이 완공됐다. 1977 년 말 현재 병원은 모두 13 1 생물청정실이 있습니다.
약품의 안전과 유효성을 보장하기 위해 미국 식품의약감독청 (FDA) 은 65438 부터 0964 까지 미국에서' 의약품 생산 품질 관리 규범' 을 실시하고 있다. 1969 년 세계보건기구 (WH0) 는 GMP 를 공포했고 약품의 무균생산을 보장하기 위해 생산환경과 수질에 대한 요구를 규정했다. 바이오 청정실 기술은 미국, 일본, 서유럽 등 공업국의 제약공업에서 광범위하게 응용되었다.
1969 년 미국 FDA 는' 식품제조기준' 인 GMP 를 공포해 제조와 포장 과정에서 미생물과 온습도를 엄격하게 통제해 식품부패의 변질을 방지해야 한다. 무균 통조림 식품의 청정실은 당시 유럽과 미국에서 급속히 보급되었다.
미국을 예로 들자면, 197 1 연간 무균 통조림의 총량은 25 억 4 천만 톤, 1980 년에는 1327 억 톤으로 증가했으며, 그 중 고기 제품은 거의/에 달했다. 식품 양조와 발효업계에서도 청정실 기술은 순종 배양, 접종, 종자 증폭에 사용된다.
클린 룸 시장의 약 70% 를 차지하는 전자와 반도체 업계의 경우 70 년대는 LSI 시대, 80 년대는 VLSI 시대라고 불린다. 1970 이후 집적 회로의 통합은 2 ~ 3 년마다 4 배 빠르게 발전했다.
1970 년대 말, 64K 비트 RAM 은 VLSI 단계에 들어선 상징적인 제품 개발 과정에서 전형적인 선폭이 3μm 이고 제어해야 할 최소 입도가 0.3 ~ 0.8 미크론이라는 것을 알아차렸다. 즉, 0.3μm 효율성에 기반한 HEPA 필터는 더 이상 전자 기술의 발전에 적응할 수 없습니다. 미국과 일본은 초고효율 공기 필터인 ——ULPA (초저 침투 공기 필터) 를 개발해 0. 1μm 에 대한 먼지 필터 효율이 99.99~99.995% 에 달했다.
성숙과 발전 단계
1970 년대 말부터 80 년대 말까지 중국의 청결 기술은 햇빛이 찬란한 발전 단계를 거쳤다. 중국 청결기술의 발전 과정에서 많은 이정표식의 중요한 성과가 거의 이 단계에서 탄생했다.
1, 표준, 사양 및 국제 교류:
1979 1 에어컨 위주의 설계, 과학 연구, 고교건설을 비롯한 공업청정실에 대한 실험과 경험 총결을 바탕으로' 공기청결도 기술조치' 를 발간해 당시 우리나라 청정실 기술의 규범과 보급에 중요한 역할을 해 향후 국가기준 제정을 위한 토대를 마련했다.
1984, 1984 년 2 월, 국가 표준 GBJ73-84' 청결공장 설계 사양' 이 발표되어 전자공업부 제 10 설계원이 관련 기관과 함께 편성했다. 그 중 청결도의 등급기준은 당시 세계 대다수 국가가 인정한 미국 연방기준 209B 에 해당하며, 우리나라가 참고로 사용했던 여러 청정실 등급기준을 다양한 범위에서 버리고 우리나라를 위해 맞춤화했다.
이어 우리나라 국정과 국제기준을 결합해' GB6 166-85 고효율 필터 재료 성능 테스트 방법, 통과율 및 저항',' GB6 167-85 먼지 입자 카운터 성능 테스트 방법' 을 개발했다.
6 월 1988+0 1 마무리된 국가 표준인 GB 122 18-89 규정, 굵고 1993 년 유럽환기협회 (ASHRAE) 는 대기먼지 비색효율법 (ASHRAE AFI National Bureau of Statistics) 의 기존 무게효율법을 버리고 대기먼지 또는 표준먼지를 사용하는 지름 계산법을 공포했다.
특히 1982 년 6 월 중국 전자학회 청결기술분회 설립 (대외명' 중국오염통제협회' CCCS- 중국오염통제협회) 을 통해' 청결기술지' (현재' 청결과 에어컨 기술'-오염통제' 라고 불림) 1986 중국청결기술학회는 국제오염통제학회 (ICCS) 회원이 되었다. 당시 유일한 회원은 미국 (IEST), 영국 (참조), 프랑스 (ASPES), 독일 (DIN/VDI), 일본 (JACA), 이탈리아 (ASCCA), 스위스 (스위스) 였다. (현재 호주 -—ACCS, 러시아 -—ASEMCO, 벨기에 -—BCW, 북한 -—KACA, 로니아 -—RACC 를 포함한 18 개 회원국에 추가되었다
저자는 중국을 대표하여 1998 에서 제 9 회 ICCCS 로스앤젤레스 회의와 제 10 회 ICCCS 취리히 회의의 집행 의장으로 임명되었다.
2, 생물학적 청정실 기술:
우리나라 생물 청정실 기술의 시작은 외국보다 10 여 년 늦었다. 1970 년대 말, 일부 제약 회사들은 기존 에어컨 시스템을 개조하여 고효율 공기 필터를 에어컨 공기 공급 시스템의 끝으로 사용하여 기존 필터나 글리세린 가제 커버를 대체하기 시작했다. 이 기간 동안 상해의약공업설계원, 하얼빈공학대학 및 관련 약공장은 상해 제 4, 제 7 제약공장, 진강제약공장에서 생물청정실 기술을 잇따라 채택했다.
1982 중국의약공업주식유한공사는 국정과 해외경험을 바탕으로' 약품생산관리규범' (시범원고) 을 제정했다. 여기서 공기청결도 등급은 미국 연방표준인 209A 를 참고하고 생산환경을 10 만과/KLOC-0 보다 큰 등급으로 나누었다 1985 년 말까지' 의약품 생산 품질 관리 규범 시행 가이드' 를 편성하고 일부 개정된' 표준' 과 함께 정식으로 공포하여 의약공업 현대화를 추진하기 위한 토대를 마련했다. 1988 보건부는' 의약품 생산 품질 관리 규범' 을 발표했는데, 그 정신은 상술한 규범과 일치하여 제약업계에 GMP 인증을 실시하기 위한 조건을 마련했다.
이 단계에서 생물 청정실은 이미 의료에서 보급되어 응용되었다. 1980 흑룡강병원은 하얼빈 건축공학대학과 계서 5 가 공동으로 개발한 간단한 수평층류 에어컨 정화기를 사용했다. 6 기 9 원과 상하이 금산 전자설비 공장에서 합작하여 완성한 조립식 무균병실은 상하이 신화병원과 쑤저우 의대 세포 실험실에서 사용한다.
1980 년대 중반, 총물류부 병영부 설계원과 천진대는 30 1 병원 재활센터 수술루를 설계하여 10 여 개의 민간용 무균수술실을 보유하고 있으며, 기류 조직 형태가 다양해 미국 항공우주국 -5340ⅱ 기준에 해당한다. 천진대학과 천진정화설비공장은 중국의학과학원 혈액연구소에 수백 급 조립식 무균병실을 설계했다.
1980 년대 초 군사의학과학원, 연구소 에어컨소, 청부 정화설비공장 등이 II-A 급 (P3 에 해당) 생물안전워크스테이션 개발을 마쳤다. 하얼빈 건축공학원 등 단위.
송강 통조림 공장의 달콤한 토치 우유, 케첩, 베이컨 무균 통조림을 건설하여 바이오 안전과 식품 가공 생명기술을 중국에 응용하였다.
1985 정도 군사의학연구소에서 개발한 JWL 핀홀 플랑크톤 샘플러와 상하이 전신 전자설비공장과 동제대대가 공동으로 개발한 SS 슬릿 공기 플랑크톤 샘플러가 검증을 거쳐 바이오클린 룸 기술 중 하나입니다.
연구 작업은 수단을 제공하였다.
3, 기초 및 기술 연구:
70 년대 말부터 80 년대 말까지의 10 년 동안 청정실의 기초와 기술 연구는 다음과 같은 많은 성과를 거두었다.
우리나라 대기 분진의 통계 법칙, 습도가 대기 분진 농도에 미치는 영향, 대기 분진 농도의' W' 형 일일 분포 모델을 제시하여 실외 설계 농도를 결정할 수 있는 근거를 제공했다.
에어 커튼이 있는 층류 커버의 격리 효과, 설계 원칙 및 계산 방법을 제시했다.
터런스 클린룸의 이론 계산 공식, 경험 계산 공식, 자체 청소 시간 및 오염 시간을 제시했다.
단방향 흐름 클린 룸에서 환기 모드의 최대 룸 폭, 계산 모델 및 하한 풍속에 대한 개념 및 데이터가 제시되었습니다.
밀봉과 가이드를 결합한 고효율 공기 필터 쌍환 밀봉 원리와 방안을 제시하여 역액통 밀봉 방안을 제시하였다.
인체 내 세균의 수를 감지하고 분석했다.
여과재와 필터 세균 필터링 효율 시험대가 설립되어 세균 필터링 효율과 대기 분진균원 수 계량 효율의 상관관계를 얻었다.
중국 건축과학연구원, 4 기부 10 원, 11 원, 설계원, 천진대, 청화대, 동제대, 하얼빈 건축공학대학, 하북공업대 등 기관이 이 방면에서 많은 일을 했다.
4. 제품 개발 분야:
1979 부터 198 1, 천진대학, 천진미륜섬유공장 등까지. 수백 종의 각종 재료 (폴리, 폴리 프로필렌, 비닐론, 면, 양모, 초극세유리 섬유) 에 침술, 스프레이, 핫멜트, 용융, 핫 프레스, 롤러 가공 ...
198 1 년, WGP-0 1 미니 주름 HEPA 필터는 4 부 11 개, 허베이 공대, 천진 무선전용 설비 2 공장에서 성공적으로 개발해 국내 제품 공백을 메웠다.
1985 년 기계 4 부 11 원, 쓰촨 제지공업연구원, 충칭 무선전용 설비공장에서 CGB 형 고효율 공기필터 개발을 마쳤다. 이 필터는 0.65438 0 μ m 먼지 입자의 카운트 효율이 99.99 ~ 99.995%, 저항력은 245 ~ 270PA 입니다. 검증을 거쳐 그 주요 기술 지표는 당시 일본에서 생산한 ULPA 에 도달했다. 1987 65438+ 10 월, 천진의약정화설비공장, 건설연구소 에어컨에서 개발한 외국 ULPA 필터 (일본 인조주식회사 제품) 를 이용한 0.1μ m/ 1988 년 5 월, 기계부 제 11 설계원 및 충칭 라디오 전용 설비 공장은 국산 0. 1μm 고효율 공기 필터를 통해 인증을 받았습니다. 이 필터는 주로
이 지표는 이미 외국의 80 년대 기술 수준에 도달했다.
같은 기간 외국 청정실 기술은 끊임없이 발전하고 진보했다.
1982 에서 칩당 약 5 만 ~ 6 만 개의 부품이 있는 16K 비트 랜덤 액세스 메모리 (RAM) 가 베스트셀러가 되었습니다. 1984 256K 비트 RAM 이 실용화 단계에 들어섰습니다. 같은 해 초 일본은 칩당 약 200 만 개의 장치에 대한 1 조 DRAM (동적 랜덤 액세스 메모리) 을 성공적으로 시험제작했다고 발표했다. 1985 년 미국은 4 조 집적 회로를 개발했다. 1980 년대 말까지 4M 비트 DRAM 은 상업화되었습니다.
이 단계에서는 에너지 소비를 줄이고, 프로세스 자동화 및 높은 청결도 요구 사항을 충족하는 클린 룸 공기 흐름 구성 및 기술도 터널 클린 룸, 파이프 라인 클린 룸, SMIF (표준 기계 인터페이스) 기술 등 등장했습니다.
1980 년대 중반 이후 최고 청결도 수준-100 (≥0.5μm,100PC. /cu.ft) 는 더 이상 마이크로 일렉트로닉스 산업의 요구를 충족시킬 수 없습니다 .65438+사실, 1970 년대 말부터 마이크로 일렉트로닉스 기술의 발전으로 미국과 일본은 더 높은 수준의 클린룸을 지속적으로 건설했습니다. 레이저 입자 계수기와 응축 핵 입자 카운터 (CNC) 도 등장했습니다. 이 기간의 경험을 요약하고 기술 진보의 요구에 적응하며, 미국 연방 표준 209C 는 1987 년 10 월 27 일 발표했고, 청결도 수준은 원래 100 에서/kloc-까지 발표됐다
국제 표준과 접목하여 표준화로 나아가다.
1990 년대 초부터 전자 기술의 급속한 발전에 따라 청결 기술은 끊임없이 진보하고 있다. 아래 표는 국제 대규모 집적 회로와 국내 대표 제품의 발전 과정이다.
9 월 1 1, 1988 이 공포한 미국 연방표준인 FED-STD-209E 가 6 월 15438+05 포고를 더욱 대체했다 209D 에 비해 최고 수준은 반단 (209D 의 1 의 먼지 입자 ≥ 0.5 μ m ≳ 35.3 PC./M3, 209E 의 M 1 의 먼지 입자 ≥ /m3).
30 여 년 동안 미국 연방 표준 209 는 전 세계적으로 공인된 청결기술 업계 표준이었다. 20011/kloc-에서 미국 연방 표준 연방 정부 기관이 사용할 수 있는 권위 있는 기관인 미국 총무청 (GSA-U.S. general services administration) 을 승인합니다 이 결정은 일종의 청결 기술을 상징한다.
세계 경제가 통합됨에 따라, 우리는 더욱 국제적 조화로 나아갈 것이다.
1990 년대 초부터 중국 경제는 안정적이고 빠른 성장을 유지해 왔으며, 국제 투자는 끊임없이 주입되고 있으며, 다국적 그룹들이 잇달아 중국에 수많은 마이크로전자 공장을 건설하였다. 이에 따라 국내 기술자와 연구원들은 해외 고급 청정실의 설계 원리에 직접 접촉해 국제적으로 선진적인 장비, 관리 및 유지 관리를 이해할 수 있는 기회가 더 많아졌습니다. 이 점에서 볼 때, 확실히 각 각도에서 점점 국제와 접목되고 있다.
중국도 마이크로 일렉트로닉스 기술 개발에 막대한 자금을 투입하고 있다. 이 단계에서 수강전기회사, 화정전자그룹, 상해화홍NEC 전자회사, 사오싱화월마이크로일렉트로닉스, 천진모토로라, 상해벨링마이크로일렉트로닉스 등이 있습니다. 이미 잇따라 건설되었지만, 전반적으로 마이크로전자 기술과 세계 선진 생산 수준, 특히 R&D 수준에는 상당한 차이가 있다.
1990 년대 초부터 제약 회사들은 GMP 법 시행 과정에서 청결 기술을 보급했으며, 전국 수천 개의 약용 원료와 포장재를 생산하는 제약 공장과 비약 공장은 잇달아 기술 개조를 진행했다. 그 규모와 범위는 전례가 없다. 1992 중국의약공업회사, 중국화학제약공업협회는 1985 가 발표한' GMP 시행가이드' 를 개정해 새로운 시행가이드를 발표했다. 이어 1998 년 국제접목, 국가약품감독관리국（NMPA） 개정' 의약품 생산 품질 관리 규범' 인 중국 1998 GMP (1999 년 8 월/부터 1 999 년 8 월/ 1990 년대 초부터 병원 무균수술실 건설은 여러 방면의 관심을 불러일으켰고, 각 대도시는 10 만에서 100 까지 다양한 등급의 생물청결수술실, 생물청결병실, 실험동물실을 잇달아 건설했다.
국내 청결기술 산업의 최근 10 년간의 여정을 총결하여 저자 개인의 관점에 따르면 희우반반이다. 기쁘게도 청정실 기술산업은 여러 방면에서 점점 국제와 접목되어 관련 규범의 내용, 청정실 설계 아이디어와 방안, 시공 기술과 관리, 검사 방법, 기술 등에 반영되고 있다. 우리나라 국가 표준 개정에 반영된 바와 같이 10 월 3 일 발표된 GB50073-2001111국가 표준' 클린 룸 설계 사양' 은 제약업계와 범용 전자조립업계, 의료위생, 식품, 화장품 업계의 주도 아래 청정실 기술이 크게 보급되고 있다. 그러나 이들 업종은 기본적으로 ISO5 또는 중국 표준 N5 (원래 연방 표준인 FED-STD-209E 의 100 에 해당) 및 그 이하의 청정실 (예: 고효율 필터, 샤워실, 정화 워크벤치, 에어컨 냉방기, 금속판자) 에 사용되는 주요 장비와 장비입니다. 그래서 1970 년대부터 손꼽히는 수가 있어 주로 베이징, 천진, 상해에 집중되었다. 1980 년대 말에는 100 여 개의 클린 룸 장비 제조업체와 건축 설치 단위가 있었으며, 현재 전국의 거의 모든 성시에는 수천 개의 클린 룸 관련 장비 제조업체와 장비 설치 단위가 있으며, 상당한 경험을 쌓은 설계 단위와 디버깅 테스트 단위도 있습니다.
불완전한 통계와 계산에 따르면 우리나라가 운영하고 있는 각급 청정실 면적은 이미 80 년대 초 65438 만 평방미터에서 200 여만 평방미터로 급증했다. 일부 마이크로전자 공장의 생산 공장 청결도 수준은 이미 0. 1 미크론 1 의 높은 수준에 이르렀다. 깨끗한 공기 흐름형의 이론 계산과 실험 연구에서 하얼빈 건축대학, 천진대, 건설연구원 에어컨 등 단위는 수치 시뮬레이션 방법과 CFD (계산유체역학) 를 실험 검증과 결합한 방법을 채택하고 있다. 시상류형, 고효율 여과구 일반 청정실 배치 방안 및 청결 효과에 대한 연구를 실시하고 역대 ICCCS 국제학술교류에 참여해 국제적으로 다수를 발표했다.
천진대 등은 모토로라, SAE, KODA, CTS 등 외국 설비와 시공관리 기술을 이용한 다양한 청결도 등급 청정실의 시스템 디버깅, 테스트 및 검수에 참여했다. 해외 마이크로 일렉트로닉스 및 제약 업계 고급 클린룸의 설계 요점, 기술 핵심 사항, 디버깅 및 수용 기술 및 해당 사양을 심층적으로 이해하고 숙지하여 일본 FDA, NEBB, IEST, JACA 와 광범위한 관계를 맺고 있습니다.
특히 중국 전자학회 신청소기술분회의 적극적인 노력으로 중국은 18 국제오염통제대회 (2006 년) 를 성공적으로 유치했다. ICCCS 가 1972 설립 이후 중국에서 이런 행사를 개최한 것은 중국 청결기술의 진보에 중요한 역할을 할 것으로 보인다.